Charakterisierung von Nanostrukturen
Michael KöhlerInstitut für Physikalische Hochtechnologie, Winzerlaer Straße 10, 07745 Jena, Germany
2001de
ABI
Abstract
Geometrische Charakterisierung Schichtdicke und vertikale Strukturabmessungen Laterale Abmessungen Meßhilfsstrukturen Charakterisierung der Zusammensetzung von Schichten und Oberflächen Atomare Zusammensetzung Chemische Oberflächencharakterisierung Funktionelle Charakterisierung von Nanostrukturen
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