МЕХАНІЗМ ДЛЯ ВИЯВЛЕННЯ ЗАБРУДНЮЮЧИХ РЕЧОВИН У ТРЕКОВИХ СЕНСОРАХ

Трекові сенсори створюють на основі трекових структур, які отримують унаслідок іонної імплантації тонких діелектричних і напівпровідникових плівок. Проходження іонних струмів через такі структури має особливості, які давно вивчаються. Входження різних видів домішок в іонний струм змінює густину струму, що дає змогу виявляти малі концентрації домішок. У цій роботі розглянуто можливий механізм виявлення сторонніх домішок у середовищі за допомогою такого сенсора. Досліджено вплив характеристик сторонніх частинок, що потрапляють у потік, а також структурно-геометричних особливостей треку на густину «потоку носіїв» (ПН). Виміряні залежності густини ПН від заряду модельних частинок у ПН та сторонніх частинок, а також від дефектної структури стінок треку та її діаметра дали змогу запропонувати механізм ідентифікації різноманітних забруднень у такій трековій системі. У сенсорі внаслідок взаємодії сторонньої частинки із частинками ПН виникає збуджена область, розмір якої залежить від характеру цієї взаємодії. Поява такої області призводить до спостережуваного негативного піку кінетики ПН. Час життя такої збудженої області визначає роздільну здатність сенсора. Цей час життя залежить від діаметра треку та дефектної структури її стінок. Це передбачає можливість впливу на роздільну здатність сенсора. На цей параметр пристрою можна впливати на всіх етапах його виготовлення. Під час створення трекової структури важливо забезпечити певний режим іонної імплантації. Відповідно до цього потрібно підбирати діаметр треку. Важливо підібрати заряд і геометричні характеристики частинок в ПН.

Not yet translated