Auger electron spectroscopy and electron energy loss spectroscopy studies of the formation of silicon nitride by implanting low energy nitrogen ions into silicon
N. LieskeInstitut für Werkstoffwissenschaften VI, Universität Erlangen-Nürnberg, D-8520 Erlangen F.R.GRudolf HezelInstitut für Werkstoffwissenschaften VI, Universität Erlangen-Nürnberg, D-8520 Erlangen F.R.G
1981en
ABI
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Cited by 30 references