Energy and angular distributions of sputtered particles
G. BetzInstitut f. Allgemeine Physik, Technische Universität Wien, Wiedner Hauptstr. 8–10, A-1040, Wien, AustriaKarl WienInstitut f. Kernphysik der Technischen Hochschule Darmstadt, 64289 Darmstadt, Germany
1994en
ABI
Abstract
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Citations and references
Cited by 30 references