ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ МЕДИ
Ш. Т. ХожиевА А ГаниевВ. М. РотштейнИнститут ионно-плазменных и лазерных технологийИ.О. КосимовД М МуродкобиловМаматов, Э.Д.Институт химии им. В.И.Никитина НАН РТ
2020ru
ABI
Abstract
Экспериментально обнаружены и исследованы различные пики в спектре комбинационного рассеяния (КРС) образцов кремния, имплантированных ионами меди. На основе данных КРС, полученных для образцов с различными режимами имплантации Сu и лазерного отжига, исследована динамика трансформации микроскопической структуры приповерхностного слоя кремния. Полученные экспериментальные данные хорошо объясняются наличием локальных атомов Сu в узлах кристаллической решетки.
Not yet translated
Identifiers
Citations and references
Cited by 20 references