Carbon in silicon: Properties and impact on devices
Bernd O. KolbesenSiemens AG, Zentrale Technik, Forschungslaboratorien, Otto-Hahn-Ring 6, D-8000 Munchen 83, GermanyA. MühlbauerSiemens AG, Unternehmensbereich Bauelemente, Siliziummaterial-Entwicklung, Frankfurter Ring 152, D-8000 München 46, Germany
1982en
ABI
Abstract
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Citations and references
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