Herstellungsverfahren für Nanostrukturen

Strukturierungsprinzipien Subtraktive und additive Erzeugung von Nanostrukturen Strukturierung durch einen Lift-off-Prozeß Formgebungs- und Konstruktionsprinzipien in der Nanotechnik Nanomechanische Strukturierung Skalierung mechanischer Bearbeitungsmethoden Lokal materialabtragende mechanische Verfahren Oberflächen-Transport-Verfahren Umformende Verfahren Druckende Verfahren Lithografische Nanostrukturierungsverfahren Strukturübertragung durch elektromagnetische Strahlung Nanolithografische Gruppenstrukturübertragung durch optische Abbildung von Masken EUV- und Röntgenlithografie Mehrlagenresisttechniken mit optischer Strukturübertragung Nahfeldoptische Strukturierung mit Kontaktmaskenverfahren Energetische Teilchen in der nanolithografischen Strukturübertragung Elektronenstrahllithografie Ionenstrahllithografie Atomstrahllithografie Molekülstrahl- und Nanoteilchenstrahl-Lithografie Direktschreibende Strukturierung durch Teilchenstrahlen Einzelteilchenstrahlprozesse Nanostrukturierung durch selbststrukturierende Masken Strukturerzeugung durch Nahfeldsondenverfahren Oberflächenkraftfeldsonden Teilchenmanipulation mit dem Rastertunnelmikroskop (STM) Thermomechanisches Schreiben von Nanostrukturen Elektrisch induzierte Strukturierung mit Nahfeldrastersonden Chemisch-stromlos induzierte Rastersondenstrukturierung Nanostrukturierung durch optische Nahfeldsonden

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