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Charakterisierung von Nanostrukturen

Michael KöhlerInstitut für Physikalische Hochtechnologie, Winzerlaer Straße 10, 07745 Jena, Germany

2001de

ABI

Аннотация

Geometrische Charakterisierung Schichtdicke und vertikale Strukturabmessungen Laterale Abmessungen Meßhilfsstrukturen Charakterisierung der Zusammensetzung von Schichten und Oberflächen Atomare Zusammensetzung Chemische Oberflächencharakterisierung Funktionelle Charakterisierung von Nanostrukturen

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Темы

Tribology and Wear Analysis Aluminum Alloys Composites Properties Material Properties and Applications

Идентификаторы

DOI: 10.1002/3527603301.ch6

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Показатели — AkademScholar