Работы, на которые ссылается эта работа

Работ: 28

Работа: Influence of collision processes in the sheath on ion energy distribution functions in radio frequency discharges

1. The 2022 Plasma Roadmap: low temperature plasma science and technology

   Igor Adamovich, Sumit Agarwal, Eduardo Ahedo +38

   Статья2022Цитирований: 3

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.231354

2. A Monte Carlo collision model for the particle-in-cell method: applications to argon and oxygen discharges

   Vahid Vahedi, M. Surendra

   Статья1995Цитирований: 3

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.454530

3. Cold-cathode discharges and breakdown in argon: surface and gas phase production of secondary electrons

   A. V. Phelps, Zoran Petrović

   Статья1999Цитирований: 2

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457545

4. Electrostatic modelling of dual frequency rf plasma discharges

   P C Boyle, A. R. Ellingboe, M. M. Turner

   Статья2004Цитирований: 2

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457547

5. Measurements of ion energy distributions in a dual-frequency capacitively coupled plasma for Ar/O₂discharges

   Jia Liu, Quan‐Zhi Zhang, Yong-Xin Liu +2

   Статья2013Цитирований: 2

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457552

6. Collisionless Bounce Resonance Heating in Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasmas

   Yong-Xin Liu, Quan‐Zhi Zhang, Wei Jiang +4

   Статья2011Цитирований: 2

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457554

7. Dual excitation reactive ion etcher for low energy plasma processing

   H. Gotô, Hans-Dirk Löwe, Tadahiro Ohmi

   Статья1992Цитирований: 2

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457557

8. Observation of nonlinear sheath oscillations in symmetric capacitive discharges at low pressures

   Jing‐Yu Sun, Quan‐Zhi Zhang, You‐Nian Wang

   Статья2021Цитирований: 2

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457569

9. Ion energy distribution functions in a dual-frequency low-pressure capacitively-coupled plasma: experiments and particle-in-cell simulation

   Jun-Chieh Wang, Peng Tian, Jason Kenney +3

   Статья2021Цитирований: 2

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457570

10. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.757412

11. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.757413

12. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.757414

13. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.757415

14. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.757416

15. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.757417

16. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.757418

17. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.757419

18. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.757420

19. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.757421

20. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.757422

21. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.757423

22. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.757424

23. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.757425

24. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.757426

25. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.757427