← Назад к работе
Работы, на которые ссылается эта работа
Работ: 33
Работа: Enhancing plasma uniformity in SiH4/NH3 capacitively coupled plasmas via dielectric structure adjustment positioning adjacent to the power electrode
Продукты
Для разработчиков
AkademBaseОткрытый API экосистемыРабот: 33
Работа: Enhancing plasma uniformity in SiH4/NH3 capacitively coupled plasmas via dielectric structure adjustment positioning adjacent to the power electrode