Перейти к основному содержанию
AkademIndex

Продукты

Для разработчиков

AkademBaseОткрытый API экосистемы
Глава

Sputter Deposition Processes

Diederik DeplaDepartment of Solid State Sciences, Ghent University, BelgiumStijn MahieuDepartment of Solid State Sciences, Ghent University, BelgiumJ. E. GreeneMaterials Science and Physics Departments and the Frederick Seitz Materials Research Laboratory, University of Illinois, Urbana, Illinois, USA
2009en
ABI

Аннотация

Аннотация отсутствует.

Идентификаторы

Цитирования и источники

Цитирований: 2Использованных источников: 0