Fabrication of high-aspect-ratio microstructures using excimer laser
Ampere A. TsengDepartment of Mechanical and Aerospace Engineering, Arizona State University, P.O. Box 876106, Tempe, Arizona 85287-6106, USAYing-Tung ChenKung‐Jeng Ma
2003en
ABI
Аннотация
Аннотация отсутствует.
Идентификаторы
Цитирования и источники
Цитирований: 5Использованных источников: 0