Spectral Ellipsometry Study of Silicon Surfaces Implanted with Oxygen and Helium Ions
В. В. БазаровKazan E. K. Zavoisky Physical-Technical Institute (KPhTI), Kazan Science Center, Russian Academy of Sciences, 107 Sibirskii Trakt, 420029, Kazan, RussiaВ. И. НуждинKazan E. K. Zavoisky Physical-Technical Institute (KPhTI), Kazan Science Center, Russian Academy of Sciences, 107 Sibirskii Trakt, 420029, Kazan, RussiaВ. Ф. ВалеевKazan E. K. Zavoisky Physical-Technical Institute (KPhTI), Kazan Science Center, Russian Academy of Sciences, 107 Sibirskii Trakt, 420029, Kazan, RussiaN. M. LyadovKazan E. K. Zavoisky Physical-Technical Institute (KPhTI), Kazan Science Center, Russian Academy of Sciences, 107 Sibirskii Trakt, 420029, Kazan, Russia
2019en
ABI
Аннотация
Аннотация отсутствует.
Идентификаторы
Цитирования и источники
Цитирований: 2Использованных источников: 0