Статья

Sputtering of silicon by multiply charged ions

S.T. de ZwartKernfysisch Versneller Instituut, 9747 AA Groningen, The NetherlandsT. FriedKernfysisch Versneller Instituut, 9747 AA Groningen, The NetherlandsD.O. BoermaKernfysisch Versneller Instituut, 9747 AA Groningen, The NetherlandsR. HoekstraKernfysisch Versneller Instituut, 9747 AA Groningen, The NetherlandsA.G. DrentjeKernfysisch Versneller Instituut, 9747 AA Groningen, The NetherlandsA.L. BoersKernfysisch Versneller Instituut, 9747 AA Groningen, The Netherlands

1986en

ABI

Аннотация

Аннотация отсутствует.

Идентификаторы

DOI: 10.1016/0039-6028(86)90126-3

Цитирования и источники

Цитирований: 2Использованных источников: 0

Показатели — AkademScholar