Статьяスパッタの理論 I 非晶質のスパッタ収量と多結晶ターゲットPeter Sigmund·1969·jaABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.485727ЦитироватьАннотацияАннотация отсутствует.Цитирования и источникиЦитирований: 9Использованных источников: 0Показатели — AkademScholar