Computer simulation of two-component target sputtering
W. EcksteinEURATOM Association, Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, D-8046, Garching bei München, GermanyJ.P. Biersack
1985en
ABI
Аннотация
Аннотация отсутствует.
Идентификаторы
Цитирования и источники
Цитирований: 4Использованных источников: 0