Состав и электронные свойства наноразмерных фаз и нанопленок силицидов металлов, созданных методом ионной имплантации в сочетании с отжигом

Аннотация

В работе установлено, что ионная имплантация в сочетании с отжигом позволяет получить в поверхностной области Si регулярно расположенные нанокристаллические фазы и сплошные пленки силицидов металлов. Показано, что нанокристаллы и нанопленки силицидов кристаллизуются в кубической решетке. Разработана модель поверхности Si с нанокристаллами силицида.

Идентификаторы

DOI

10.7868/s0207352814010107

Цитирования и источники