СтатьяHandbook of Thin Film TechnologyL. I. Maissel·R. Glang·Paul P. Budenstein·1971·enABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.548983ЦитироватьАннотацияАннотация отсутствует.ИдентификаторыDOI10.1149/1.2408101Цитирования и источникиЦитирований: 5Использованных источников: 0Показатели — AkademScholar