Статья

Carbon in silicon: Properties and impact on devices

Bernd O. KolbesenSiemens AG, Zentrale Technik, Forschungslaboratorien, Otto-Hahn-Ring 6, D-8000 Munchen 83, GermanyA. MühlbauerSiemens AG, Unternehmensbereich Bauelemente, Siliziummaterial-Entwicklung, Frankfurter Ring 152, D-8000 München 46, Germany

1982en

ABI

Аннотация

Аннотация отсутствует.

Идентификаторы

DOI: 10.1016/0038-1101(82)90206-4

Цитирования и источники

Цитирований: 2Использованных источников: 0

Показатели — AkademScholar