Stress in The SiO2/Si Structures Formed by Thermal Oxidation
A. SzekeresInstitute of Solid State Physics, Tzarigradsko Chaussee 72, 1784, Sofia, Bulgaria
1998en
ABI
Аннотация
Аннотация отсутствует.
Идентификаторы
Цитирования и источники
Цитирований: 2Использованных источников: 0