Structural characterization of TiN coatings on Si substrates irradiated with Ar ions
M. PopovićInstitute of Economic SciencesM. NovakovićVinča Institute of Nuclear Sciences, P.O. Box 522, 11001 Belgrade, SerbiaN. BibićVinča Institute of Nuclear Sciences, P.O. Box 522, 11001 Belgrade, Serbia
2009en
ABI
Аннотация
Аннотация отсутствует.
Идентификаторы
Цитирования и источники
Цитирований: 2Использованных источников: 0