Microstructure and elastic properties of atomic layer deposited TiO2 anatase thin films
Laura BorgeseINSTM and Dipartimento di Ingegneria Meccanica ed Industriale, Università di Brescia, via Branze 38, 25123 Brescia, ItalyElza BontempiINSTM and Dipartimento di Ingegneria Meccanica ed Industriale, Università di Brescia, via Branze 38, 25123 Brescia, ItalyMarcello GelfiINSTM and Dipartimento di Ingegneria Meccanica ed Industriale, Università di Brescia, via Branze 38, 25123 Brescia, ItalyLaura E. DeperoINSTM and Dipartimento di Ingegneria Meccanica ed Industriale, Università di Brescia, via Branze 38, 25123 Brescia, ItalyP. GoudeauInstitut Prime, UPR 3346, CNRS, Université de Poitiers, ENSMA, SP2MI, Bd Marie et Pierre Curie, BP 30179, 86962 Chasseneuil, Futuroscope Cedex, FranceGuillaume GéandierLETAM, CNRS FRE 3143, Université de Metz, ISGMP Bât. B, Ile du Saulcy, F-57012 Metz Cédex, FranceDominique ThiaudièreSynchroton Soleil, Saint-Aubin, BP48, 91192 Gif-sur-Yvette Cédex, France
2011en
ABI
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