Мақолаスパッタの理論 I 非晶質のスパッタ収量と多結晶ターゲットPeter Sigmund·1969·jaABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.485727Иқтибос келтиришАннотацияАннотация мавжуд эмас.Иқтибослар ва манбалар9 та иқтибос0 та фойдаланилган манбаКўрсаткичлар — AkademScholar