МақолаHandbook of Thin Film TechnologyL. I. Maissel·R. Glang·Paul P. Budenstein·1971·enABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.548983Иқтибос келтиришАннотацияАннотация мавжуд эмас.ИдентификаторларDOI10.1149/1.2408101Иқтибослар ва манбалар5 та иқтибос0 та фойдаланилган манбаКўрсаткичлар — AkademScholar