Jörg Rappich

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Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie

1. Implementation of Low Thermal Budget Techniques to Si and SiGe MOSFET Device Processing

   Michael Glück, J. Hersener, H.G. Umbach +2

   Maqola19972 iqtibos

   ABIABI:AkademIndex/2026.other.609962