Влияние примесных атомов платины на структурные свойства монокристаллического кремния

В работе представлены результаты рентгеноструктурного анализа легированногоплатиной монокристаллического кремния. Установлено, что поверхность контрольных илегированных образцов соответствует кристаллографической ориентации (111).Определено, что на поверхности n-Si образуется тонкий слой диоксида кремния спараметрами кристаллической решетки a=b=4.9762 нм и c=5.4321 нм, принадлежащегок пространственной группе P321. В кристаллической решетке n-Si наблюдаетсядеформация, равная аSi-аSi = 0.004 нм. Установлено, что кристаллиты на основесоединений SiO2 и SiPt накапливаются преимущественно в приповерхностных участкахобразца и образуют оксидные слои с поликристаллическими свойствами. Определено,что атомы кислорода соединяются с атомами кремния на определенной глубине подвоздействием термообработки, а затем образуются кристаллиты из-за резкогоохлаждения. Установлено, что ионный радиус оптимальный для данной средыкислорода приводит к образованию структурных фрагментов с низкой симметриейсреди субкристаллитов.

Hali tarjima qilinmagan