Improving the properties of titanium nitride by incorporation of silicon
Matthieu DiserensInstitut de Physique Appliquée, EPFL, CH-1015 Lausanne, SwitzerlandJörg PatscheiderEidgenössische Materialprüfungs- und Forschungsanstalt (EMPA), Überlandstr. 129, CH-8600 Dübendorf, SwitzerlandF. LévyInstitut de Physique Appliquée, EPFL, CH-1015 Lausanne, Switzerland
1998en
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