Ion Implantation: Equipment and Techniques
H. RysselFraunhofer-Institut für Festkörpertechnologie, München 60, GermanyH. GlawischnigSiemens AG, München 80, Germany
1983en
ABI
Annotatsiya
Annotatsiya mavjud emas.
Identifikatorlar
Iqtiboslar va manbalar
2 ta iqtibos0 ta foydalanilgan manba