Sputtering of silicon by multiply charged ions
S.T. de ZwartKernfysisch Versneller Instituut, 9747 AA Groningen, The NetherlandsT. FriedKernfysisch Versneller Instituut, 9747 AA Groningen, The NetherlandsD.O. BoermaKernfysisch Versneller Instituut, 9747 AA Groningen, The NetherlandsR. HoekstraKernfysisch Versneller Instituut, 9747 AA Groningen, The NetherlandsA.G. DrentjeKernfysisch Versneller Instituut, 9747 AA Groningen, The NetherlandsA.L. BoersKernfysisch Versneller Instituut, 9747 AA Groningen, The Netherlands
1986en
ABI
Abstract
No abstract available.
Identifiers
Citations and references
Cited by 20 references