Работы, на которые ссылается эта работа

Работ: 43

Работа: Collisionless magnetized rf sheath resonance heating in dual-frequency capacitively coupled plasmas

1. A Monte Carlo collision model for the particle-in-cell method: applications to argon and oxygen discharges

   Vahid Vahedi, M. Surendra

   Статья1995Цитирований: 3

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.454530

2. Spatial symmetry breaking in single-frequency CCP discharge with transverse magnetic field

   Sarveshwar Sharma, Igor Kaganovich, Alexander V. Khrabrov +2

   Статья2018Цитирований: 2

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.418076

3. Cold-cathode discharges and breakdown in argon: surface and gas phase production of secondary electrons

   A. V. Phelps, Zoran Petrović

   Статья1999Цитирований: 2

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457545

4. Electrostatic modelling of dual frequency rf plasma discharges

   P C Boyle, A. R. Ellingboe, M. M. Turner

   Статья2004Цитирований: 2

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457547

5. Measurements of ion energy distributions in a dual-frequency capacitively coupled plasma for Ar/O₂discharges

   Jia Liu, Quan‐Zhi Zhang, Yong-Xin Liu +2

   Статья2013Цитирований: 2

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457552

6. Collisionless Bounce Resonance Heating in Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasmas

   Yong-Xin Liu, Quan‐Zhi Zhang, Wei Jiang +4

   Статья2011Цитирований: 2

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457554

7. Dual excitation reactive ion etcher for low energy plasma processing

   H. Gotô, Hans-Dirk Löwe, Tadahiro Ohmi

   Статья1992Цитирований: 2

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457557

8. Observation of nonlinear sheath oscillations in symmetric capacitive discharges at low pressures

   Jing‐Yu Sun, Quan‐Zhi Zhang, You‐Nian Wang

   Статья2021Цитирований: 2

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457569

9. Ion energy distribution functions in a dual-frequency low-pressure capacitively-coupled plasma: experiments and particle-in-cell simulation

   Jun-Chieh Wang, Peng Tian, Jason Kenney +3

   Статья2021Цитирований: 2

   ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457570

10. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457541

11. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457542

12. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457543

13. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457544

14. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457546

15. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457548

16. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457549

17. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457550

18. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457551

19. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457553

20. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457555

21. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457556

22. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457558

23. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457559

24. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457560

25. Без названия

    ДругоеЦитирований: 1

    ABIABI:AkademIndex/openalex/2026.other.457561