← Назад к работе
Работы, на которые ссылается эта работа
Работ: 29
Работа: The effect of metal doping on the piezoelectric response of AlN film ultrasonic transducers
Perspectives on oblique angle deposition of thin films: From fundamentals to devices
Ángel Barranco, Ana Borrás, Agustı́n R. González-Elipe +1
Статья2015Цитирований: 2ABIPiezoelectric properties of ScAlN thin films for piezo-MEMS devices
Keiichi Umeda, Hiroyuki Kawai, Akira Honda +3
Статья2013Цитирований: 2ABI