Перейти к основному содержанию
AkademIndex

Продукты

Для разработчиков

AkademBaseОткрытый API экосистемы
← Назад к работе

Работы, цитирующие эту работу

Работ: 2

Работа: Thermal atomic layer deposition of AlOxNy thin films for surface passivation of nano-textured flexible silicon