Перейти к основному содержанию
Akadem
Index
Экосистема
Продукты
AkademIndex
Научный поиск и навигация
AkademScholar
Метрики и научная аналитика
AkademID
скоро
Идентификатор автора и профили
Для разработчиков
AkademBase
Открытый API экосистемы
Найти
О проекте
Охват
Помощь
Русский
Русский
Светлая
Светлая
Русский
Русский
Найти
← Назад к работе
Работы, цитирующие эту работу
Работ: 1
Atomic Layer Deposition of Ultra-Thin Oxide Semiconductors: Challenges and Opportunities
Serge Zhuiykov
,
Zhenyin Hai
,
Eugene Kats
+2
Статья
Semiconductor materials and devices
Key engineering materials
2017
Цитирований: 0
ABI
ABI:AkademIndex/openalex/2017.article.000336