← Назад к работе
Работы, на которые ссылается эта работа
Работ: 5
Работа: The Mechanism of Silicon Epitaxial Layer Growth from Ion-Molecular Beams
Epitaxial growth of silicon assisted by ion implantation
Tadatsugu Itoh, Tohru Nakamura
Статья1971Цитирований: 3ABI