Iron contamination in silicon technology
A. A. IstratovUniversity of California, Lawrence Berkeley National Laboratory, 1 Cyclotron Road, Mail Stop 62-203, Berkeley, CA 94720, USA (Fax: +1-510/486-4995,H. HieslmairUniversity of California, Lawrence Berkeley National Laboratory, 1 Cyclotron Road, Mail Stop 62-203, Berkeley, CA 94720, USA (Fax: +1-510/486-4995,E. R. WeberDepartment of Materials Science and Engineering, University of California, 475 Evans Hall, Berkeley, CA 94720-1760, USA (Fax: +1-510/642-2069,
2000en
ABI
Аннотация
Аннотация отсутствует.
Идентификаторы
Цитирования и источники
Цитирований: 5Использованных источников: 0