Структура термоэлектрических пленок высшего силицида марганца на кремнии по данными электронной микроскопии
2017ru
ABI
Аннотация
Проведен сравнительный анализ структурных особенностей пленок высшего силицида марганца, выращенных методом диффузионного легирования монокристаллических подложек кремния парами марганца в запаянной ампуле и проточном кварцевом реакторе при постоянной откачке. Методами растровой электронно-ионной микроскопии и высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии показано, что в откаченной ампуле формируется однофазная текстурированная пленка высшего силицида марганца. Изменение условий роста со стационарных (ампула) на квазистационарные (реактор) приводит к формированию поликристаллических островков высшего силицида марганца с наноразмерными включениями фазы моносилицида марганца. DOI: 10.21883/FTP.2017.06.44547.06
Идентификаторы
Цитирования и источники
Цитирований: 2Использованных источников: 0