Structural characterization and electro-physical properties for SiOC(–H) low-k dielectric films
A. S. ZakirovHeat Physics Department, Uzbek Academy of Sciences, Tashkent 100135, UzbekistanP. K. KhabibullaevHeat Physics Department, Uzbek Academy of Sciences, Tashkent 100135, UzbekistanChi Kyu Choi
ABI
Аннотация
Аннотация мавжуд эмас.
Мавзулар
Идентификаторлар
Иқтибослар ва манбалар
0 та иқтибос14 та фойдаланилган манба