КОНТРОЛЬ ПАРАМЕТРОВ И УПРАВЛЕНИЕ ПРОЦЕССОМ ОСАЖДЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
Абдулахат Кадыров«Худжанский государственный университет имени академика Бободжона Гафурова»Борис АбдурахмановСергей БойкоМосковского института электронной техники города ЗеленоградаДалер Касымов«Худжандский государственный университет имени академика Бободжона Гафурова»Ольга ТрунилинаИнститут ионно-плазменных и лазерных технологий Академии наук имени академика У.А. Арифова, Республики Узбекистан
2021ru
ABI
Annotatsiya
Дается краткий обзор самого распространенного на практике способа получения полупроводниковых материалов, в том числе, кремния-водородное восстановление галогенидов из газовой фазы. Приведены данные о формировании парогазовой смеси в производственных условиях но также в диапазоне варьирования исходных параметров процесса. Подчеркивается ценность полученных результаты при получения солнечных элементов из вторичного литого поликремния
Hali tarjima qilinmagan
Identifikatorlar
Iqtiboslar va manbalar
0 ta iqtibos0 ta foydalanilgan manba