Сергей Бойко

1 ta ish

Moscow State Institute of Electronics and Mathematics

1. КОНТРОЛЬ ПАРАМЕТРОВ И УПРАВЛЕНИЕ ПРОЦЕССОМ ОСАЖДЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

   Абдулахат Кадыров, Борис Абдурахманов, Сергей Бойко +2

   MaqolaOAOchiq kirish20210 iqtibos

   ABIABI:AkademIndex/2021.article.015659