Топология поверхности тонких плёнок ZnO1-xSx, полученных методом ультразвукового спрей-пиролиза

Определено, что на поверхности пленок ZnO1-хSх в процессе нанесенияметаллооксидных слоев формируются наноостровки ZnO1-хSх со средней высотой около30−50 нм и плотностью 2.9×1011 см−2. Определено, что толщина выращенного слоясоставляет ~400 нм, диаметр наноостровков ZnO1-хSх от 50 до 200 нм, слои растутперпендикулярно к подложке вдоль оси z с кристаллографической ориентацией (111). Сростом дозы γ-облучения средняя площадь основания и высота наноостровковуменьшаются и становятся почти одинакового размера и геометрической формы. Установлено, что почти 90% нанообъектов имеют высоту 18 нм после γ-облучениядозами 5×106 рад.

Hali tarjima qilinmagan