Maqola

Comparative study of polyatomic secondary ion emission from silicon with <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" altimg="si11.gif" overflow="scroll"><mml:mrow><mml:msubsup><mml:mrow><mml:mtext>Au</mml:mtext></mml:mrow><mml:mrow><mml:mi>m</mml:mi></mml:mrow><mml:mrow><mml:mo>-</mml:mo></mml:mrow></mml:msubsup></mml:mrow></mml:math>, <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" altimg="si12.gif" overflow="scroll"><mml:mrow><mml:msubsup><mml:mrow><mml:mtext>Si</mml:mtext></mml:mrow><mml:mrow><mml:mi>m</mml:mi></mml:mrow><mml:mrow><mml:mo>-</mml:mo></mml:mrow></mml:msubsup></mml:mrow></mml:math> and <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" altimg="si13.gif" overflow="scroll"><mml:mrow><mml:msubsup><mml:mrow><mml:mtext>C</mml:mtext></mml:mrow><mml:mrow><mml:mi>m</mml:mi></mml:mrow><mml:mrow><mml:mo>-</mml:mo></mml:mrow></mml:msubsup></mml:mrow></mml:math> projectiles

С. Н. МорозовArifov Institute of Electronics, Akademgorodok, Tashkent 100125, UzbekistanУ. Х. РасулевArifov Institute of Electronics, Akademgorodok, Tashkent 100125, Uzbekistan

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atomsjournal2006lv

ABI

Annotatsiya

Annotatsiya mavjud emas.

Mavzular

Ion-surface interactions and analysis Diamond and Carbon-based Materials Research Integrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis

Identifikatorlar

DOI: 10.1016/j.nimb.2006.12.108

Iqtiboslar va manbalar

11 ta iqtibos 15 ta foydalanilgan manba

Koʻrsatkichlar — AkademScholar · Tez orada