Structural characterization and electro-physical properties for SiOC(–H) low-k dielectric films
A. S. ZakirovHeat Physics Department, Uzbek Academy of Sciences, Tashkent 100135, UzbekistanP. K. KhabibullaevHeat Physics Department, Uzbek Academy of Sciences, Tashkent 100135, UzbekistanChi Kyu Choi
ABI
Аннотация
Аннотация отсутствует.
Темы
Идентификаторы
Цитирования и источники
Цитирований: 0Использованных источников: 14