← Назад к работе
Работы, на которые ссылается эта работа
Работ: 26
Работа: Area-selective Ru ALD by amorphous carbon modification using H plasma: from atomistic modeling to full wafer process integration
A reactive potential for hydrocarbons with intermolecular interactions
Steven J. Stuart, Alan B. Tutein, Judith A. Harrison
Статья2000Цитирований: 2ABI