Thermo-sensitive structures formed in silicon by ion implantation
А.С. РысбаевM.T. NormuradovI.P. ParmankulovS. S. NasriddinovTashkent State Technical Univ., Tashkent (Uzbekistan)
1999en
Ochiq kirish: yoʻq
ABI
Annotatsiya
Annotatsiya mavjud emas.
Mavzular
Iqtiboslar va manbalar
0 ta iqtibos0 ta foydalanilgan manba