Статья

Non-linear effects in Ta sputtering by Au− ions

С. Н. МорозовUzbek Academy of Sciences, Arifov Institute of Electronics, Akademgorodok, F.Khojaeva 33, 700125 Tashkent, UzbekistanУ. Х. РасулевUzbek Academy of Sciences, Arifov Institute of Electronics, Akademgorodok, F.Khojaeva 33, 700125 Tashkent, Uzbekistan

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atomsjournal2003en

ABI

Аннотация

Аннотация отсутствует.

Темы

Ion-surface interactions and analysis Diamond and Carbon-based Materials Research Integrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis

Идентификаторы

DOI: 10.1016/s0168-583x(02)02216-4

Цитирования и источники

Цитирований: 6 Использованных источников: 15

Показатели — AkademScholar · Скоро